乙硼烷/氮氣混合氣 B2H6/N2 Mixture

Components （組分）

Content(含量)

B2H6, 5N

≥0.1% 

N2，6N

Balance （平衡氣）

組分 Components

規格 Specification

乙硼烷Diborane（B2H6）5N

99.999%

氧 Oxygen (O2)

≤0.5 ppmv

二氧化碳 Carbon Dioxide (CO2)

≤2 ppmv

甲烷 Methane (CH4)

≤4 ppmv

氫 Hydrogen (H2)

≤100 ppmv

三氟化硼 Boron Trifluoride（BF3）

≤50 ppmv

Teraborane(B4H10)

≤180 ppmv

Pentaborane(B5H9）

≤10 ppmv

Pentaborane（B5H11）

≤10 ppmv

Hexaborane（B6H10）

≤10 ppmv

氮氣Nitrogen（N2）6N

99.9999%

水Water(H20)

≤0.5 ppmv

氧+氬 Oxygen+Argon (O2+Ar)

≤0.5 ppmv

甲烷Methane (CH4)

≤0.1 ppmv

氫Hydrogen (H2)

≤0.1 ppmv

一氧化碳 Carbon Monoxide （CO）

≤0.1 ppmv

二氧化碳 Carbon Dioxide (CO2)

≤0.1 ppmv

包裝規格

氣瓶大小 Cylinder Size

47L

充裝量 Fill Weight (kgs)

100Bar

閥門 Valve Connection

CGA350/DISS632

尺寸 Cylinder Dimensions(cm)

23x140