三氟化硼（11）Boron Trifluoride 4.5N

Components （組分）

Specification規格

Boron Trifluoride（BF3)三氟化硼

≥ 99.995%

Nitrogen（N2）氮氣

≤ 10ppmv

Oxygen（O2）氧氣

≤ 5ppmv

Carbon Monoxide（CO）一氧化碳

≤ 1ppmv

Carbon Dioxide（CO2）二氧化碳

≤ 5ppmv

Methane（CH4）甲烷

≤ 1ppmv

Moisture(H2O）水

≤ 1ppmv

Sulfur Dioxide （SO2）二氧化硫

≤ 1ppmv

Hydrogen Fluoride（HF）氟化氫

≤ 1ppmv

Silicon Tetrafluoride（SiF4）四氟化硅

≤ 5ppmv

11B Isotopic Concentration豐度

≥ 99.7%

包裝規格

氣瓶大小 Cylinder Size

47L

充裝量 Fill Weight (kgs)

20

尺寸 Cylinder Dimensions(cm)

Ф23×140

閥門 Valve Connection

CGA330

保質期 Shelf Life

2year