四氟化鍺Germanium tetrafluoride 4N

Components （組分）

Specification規格

Germanium Tetrafluoride (GeF4) 四氟化鍺

≥ 99.99%

Nitrogen（N2）氮氣

≤ 10ppmv

Oxygen +Argon(O2+Ar) 氧氣+氬氣

≤ 10ppmv

Carbon Monoxide（CO）一氧化碳

≤ 10ppmv

Carbon Dioxide（CO2）二氧化碳

≤ 10ppmv

Sulfur Dioxide （SO2）二氧化硫

≤ 10ppmv

Hydrogen Fluoride（HF）氟化氫

≤ 15ppmv

72Ge Isotopic Concentration豐度

≥ 55%

包裝規格

氣瓶大小 Cylinder Size

8L

充裝量 Fill Weight (kgs)

10

尺寸 Cylinder Dimensions(cm)

Ф17.8×45

閥門 Valve Connection

GCA330

保質期 Shelf Life

2year